Công ty mang lại giá trị tốt nhất dẫn đầu tương lai

HS Inc. group phát triển và cung cấp các sản phẩm và giải pháp tốt nhất cho ngành Công nghệ Bán dẫn / MEMS, FPD (LCD, OLED), LED và Năng lượng Mặt trời. HSM VINA là công ty chuyên về ngành công nghiệp LCD, OLED. HSM VINA chuyên về công nghệ Polyimide (PI) Electrostatic Chuck.

Công nghệ PI Electrostatic Chuck là một loại kẹp tĩnh điện được sử dụng trong sản xuất bán dẫn và các ứng dụng chính xác khác. Một kẹp tĩnh điện là một thiết bị giữ và cố định chặt một mẫu trong quá trình nhiều quy trình, như etsi, phủ màng, và quang trắc, trong một buồng hút chân không.

Nguyên lý hoạt động của PI Electrostatic Chuck liên quan đến việc tạo lực tĩnh điện giữa kẹp và mẫu. Kẹp được điện áp bằng cách áp dụng một điện áp một chiều (DC) vào lớp dẫn. Khi điện áp được áp dụng, một trường điện được tạo ra giữa kẹp và mẫu, tạo ra lực hút tĩnh điện.

Các lợi ích chính của PI Electrostatic Chucks như sau:

Lực giữ cao: Lực hút tĩnh điện tạo ra bởi kẹp thường cao hơn so với các phương pháp kẹp cơ học khác, cho phép cố định an toàn của mẫu. Điều này rất quan trọng trong quá trình tốc độ cao hoặc khi làm việc với mẫu mỏng hoặc tinh tế.

Kẹp đồng đều: Lực tĩnh điện được phân phối đều trên bề mặt của kẹp, tạo ra sự kẹp đồng đều của mẫu. Điều này đảm bảo tiếp xúc nhất quán và giảm nguy cơ cong vênh hoặc méo mó.

Kiểm soát nhiệt độ: PI Electrostatic Chucks có thể cung cấp kiểm soát nhiệt độ tốt. Bằng cách điều chỉnh điện áp được áp dụng, kẹp có thể làm nóng hoặc làm lạnh mẫu, duy trì nhiệt độ ổn định trong quá trình xử lý. Tính năng này đặc biệt quan trọng đối với vật liệu hoặc quy trình nhạy cảm với nhiệt độ.

Hoạt động không tiếp xúc: Khác với kẹp cơ học sử dụng kẹp hoặc hút chân không, PI Electrostatic Chucks hoạt động mà không tiếp xúc vật lý với mẫu. Điều này loại bỏ nguy cơ hư hỏng cơ học, ô nhiễm hoặc tạo ra hạt, tăng cường hiệu suất và độ tin cậy.

Tương thích: PI Electrostatic Chucks tương thích với các vật liệu mẫu khác nhau, bao gồm wafer silic, các mẫu kính và các màng linh hoạt. Chúng có thể thích ứng với các kích thước và hình dạng khác nhau, làm cho chúng đa dụng cho các quy trình sản xuất khác nhau.

Tổng thể, công nghệ PI Electrostatic Chuck cung cấp khả năng kẹp mẫu chính xác và đáng tin cậy trong sản xuất bán dẫn và các ứng dụng chính xác khác, góp phần nâng cao kiểm soát quy trình và chất lượng sản phẩm.